等离子体的刻蚀是什么?

等离子体刻蚀是用等离子体材料表面加工的技术。比如手机屏幕玻璃上蚀刻出电路，芯片制造中硅片微细图形加工，太阳能电池表面纹理化，LED芯片粗化提升出光率，医疗器械表面微结构增加生物相容性。

等离子体含有带电粒子，轰击材料表面时发生物理溅射，同时化学反应气体分解生成活性基团，与材料反应生成挥发性产物。等离子体刻蚀精度高，能加工纳米级结构，适合硅、玻璃、金属等多种材料。刻蚀深度控制精确，可重复性好，生产效率高。这项技术在半导体、显示、光伏等领域广泛应用。