剥离液会使晶圆表面对金属的粘附性不好吗?

时间:01-20人气:27作者:汐丶舊時光

剥离液确实会影响晶圆表面对金属的粘附性。实验数据显示,使用剥离液后,金属层的附着力下降约20%-30%。剥离液中的化学成分会与金属表面发生反应,形成一层薄薄的氧化层或残留物,这层物质会阻碍金属与晶圆的直接接触。

实际生产中,不少工程师发现,晶圆在经过剥离液处理后,金属层容易出现脱落现象。建议使用后进行充分清洗,或者选择低残留的剥离液产品。工艺优化也能改善这一问题,比如调整处理时间和温度。总之,剥离液对粘附性有影响,但通过合理控制可以降到最低。

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