罗茨泵启动需要前级泵吗?

罗茨泵启动必须搭配前级泵，比如旋片泵、滑阀泵或水环泵。前级泵先把系统抽到真空度1帕以下，罗茨泵才能工作。没有前级泵，罗茨泵直接启动会负载过大，电机容易烧坏。比如半导体生产线里，前级泵先抽到0.1帕，罗茨泵接力抽到0.001帕。

实验室的真空镀膜设备也一样，前级泵先处理腔体空气，罗茨泵才能高效抽走工艺气体。前级泵还能防止罗茨泵返油，保证真空纯净度。像光伏行业的多晶硅提纯，前级泵先抽走空气杂质，罗茨泵才能稳定运行。总之，前级泵是罗茨泵工作的必要前提，缺一不可。