量子芯片也用光刻机吗?

量子芯片确实要用光刻机，但和传统芯片不太一样。传统芯片用193纳米深紫外光光刻，而量子芯片常需要更精细的10纳米以下工艺，得用极紫外光刻或电子束光刻。比如IBM的量子处理器就用电子束光刻来定义超导线路，精度能达到几纳米。

谷歌的量子芯片也类似，通过多层光刻堆叠控制线和量子比特。不过量子芯片材料特殊，比如氮化硅或铌，光刻时得调整参数避免损伤。有些实验室还结合纳米压印技术，提高效率。总之，光刻机是量子芯片制造的必备工具，只是技术更复杂，成本也更高。