光刻机是什么机器?

光刻机是芯片制造的核心设备，用紫外光把电路图案“印”到硅片上。比如台积电的5纳米芯片需要上百道工序，光刻机就负责其中最关键的“刻线”步骤。荷兰ASML的EUV光刻机能发出13.5纳米极紫外光，精度达几纳米，相当于在A4纸上画头发丝。

中芯国际的DUV光刻机用193纳米光源，一次能曝光26个手机芯片。光刻机里有10多个精密镜头，误差控制在原子级别，震动超过0.1纳米就会报废。一台高端光刻机价值上亿元，零件来自全球500多家供应商。没有光刻机，手机、电脑里的芯片都造不出来。