封装光刻机是什么?

时间:01-19人气:10作者:墨韵浅月

封装光刻机是芯片制造中的关键设备,负责在晶圆上刻蚀微小电路。它像一台超精密的“雕刻机”,使用紫外光或极紫外光,通过掩模版将电路图案转移到硅片上。例如,5纳米芯片需要光刻机精度达到原子级别,误差不超过几纳米。台积电、三星的工厂里,每天有数百台光刻机同时工作,每台每小时能处理上百片晶圆。

光刻机内部有复杂的光学系统,包括透镜、反射镜和光源,确保光线精准聚焦。荷兰的ASML公司生产的高端光刻机,包含超过10万个精密零件,重量达180吨。没有光刻机,智能手机、电脑等电子设备都无法制造。它直接决定芯片的性能和成本,是半导体产业的“心脏”。

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