光刻机价格一般是多少?

光刻机价格差异大，入门级二手设备约几百万人民币，中端全新机型要上千万，顶级系统如EUV光刻机单台超10亿。不同型号用途不同，前道光刻机用于芯片制造，价格昂贵；后道光刻机用于封装测试，价格较低。

台积电、三星这类大厂采购的是高端机型，中小型企业可能选择旧款或二手设备。荷兰ASML的DUV系列价格在5000万到2亿之间，而日本尼康、东京电子的产品价格稍低。光刻机成本高，维护费用也不低，每年需投入数百万保养。市场需求影响价格，供不应求时价格还会上涨。