半导体中gof是什么意思?

半导体中gof指栅氧完整性，衡量栅氧化层质量的关键指标。比如手机芯片、电脑CPU、汽车电子里的功率器件，都依赖gof数值。gof低会导致漏电增加，芯片发热严重，甚至直接失效。实际生产中，gof数值通过高场应力测试获得，比如3.3V电压下持续1分钟，记录电流变化。

gof数值越高，器件寿命越长，可靠性越强。比如某款5nm工艺芯片，gof达到10伏以上，能承受上万次开关操作。gof还影响芯片良率，0.1伏的提升能让良率上升5个百分点以上。