光刻机多少个零件组成?

光刻机零件数量超过10万个，涵盖光学、机械、电子等多个系统。核心部件包括光源系统、投影镜头、工件台、对准系统等。光源系统有激光器或准分子激光器，投影镜头由多组透镜精密组合，工件台实现纳米级移动，对准系统确保芯片对准精度。

辅助部件有真空腔体、温控装置、软件控制系统等。每个零件都需严格筛选，确保稳定性和精度。组装过程涉及数百道工序，耗时数月。零件数量庞大，但协同工作才能实现纳米级光刻。光刻机技术门槛高，全球仅有少数企业能制造。