真空泵最大压力有多大?

真空泵最大压力能达到0.1帕斯卡以下，比如分子泵可达10^-8帕，干泵能到10^-3帕。工业用的旋片泵极限压力约6×10^-2帕，扩散泵能到10^-5帕。实验室里的低温泵甚至能达到10^-10帕。

不同泵的压力差异大，分子泵靠高速转子排气，干泵不用油污染少，扩散泵靠蒸汽喷射。实际压力受温度、密封、气体种类影响，20°C时空气分子运动快会影响真空度。高真空泵价格贵，维护成本高，普通工厂用旋片泵足够。