光刻机属于什么科技?

光刻机是集光学、精密机械、材料科学于一体的尖端制造设备。它用紫外光或极紫外光，在硅片上刻出纳米级电路图案。比如台积电的3纳米芯片，需要精度达13.5纳米的光刻机。ASML的EUV机型包含10万个零件，镜片平整度比头发丝细几千倍。

光刻机决定了芯片的线宽，5纳米芯片需要193纳米波长的光源多次曝光。中国研发的28纳米光刻机已实现国产化，但7纳米以下仍依赖进口。光刻机制造涉及德国蔡司的镜头、美国光源技术，全球产业链分工明确。没有光刻机，手机、电脑、汽车芯片都无法生产，它是现代工业的“基石”。