中国可以生产光刻机吗?

中国能生产光刻机，但高端型号仍有差距。上海微电子的90纳米光刻机已投入使用，28纳米机型在测试中。中芯国际用国产设备生产14纳米芯片，良率达到85%。华虹半导体采购了多台国产DUV光刻机，产能提升30%。

合肥长鑫的存储芯片制造线采用国产光刻机，月产能达5万片。华为联合企业研发的EUV光刻机原型机完成曝光测试，精度达7纳米。不过，荷兰ASML的7纳米EUV光刻机每小时能处理300片晶圆，效率更高。国产设备在稳定性和成熟度上还需提升，但进步明显。