超纯水的toc值是多少?

超纯水的toc值一般低于5ppb，高精度制水系统可达到1ppb以下。toc值受原水水质、处理工艺影响，反渗透+edi+离子交换组合工艺效果较好。

实验室用超纯水toc值多控制在3ppb内，半导体行业要求更严，部分领域需低于0.5ppb。日常检测用toc分析仪，数据会随设备运行波动。新系统调试时toc值可能偏高，稳定后逐渐降低。定期更换耗材能维持水质，避免toc值反弹。